特徴

ロータリーポンプを内蔵し卓上型により小スペース化を実現。
簡単操作により排気からコーティング完了まで自動であり、真空度もデジタル表示且つ、低価格
ターゲット：Au Pt Ag Au-Pd In を揃えてろいます。（φ30　ｔ:0.1㎜　但しＩｎの場合0.5㎜）（別売）
Ｉｎを使用される場合、アルゴンガス対応であるＡＴ-ＥＴaをお勧めいたします

仕様

スパッタリング 方式	DCマグネトロンスパッタリング 放電電圧：DC 1500V max 放電電流：DC 10、20、30、40mAから選択
ターゲット(別売)	φ30、0.1mm厚のAu、Pt、Ag、Au(8)-Pd(2)及びφ30、0.5mm厚のInが使用可能
使用ガス	Air、Ar（ArはAT-ETAのみ）
到達真空圧	8Pa以下
チャンバー内寸	φ87mm
試料ホルダー	φ70mm
真空排気	ロータリーポンプ(10L/min)※内蔵
寸法	本体 250W × 370D × 325H
重量	本体 約15kg
電源	AC 100V 3A

コーティング例

蒸着膜厚レート

※条件：Target=Pt
※本装置の仕様及びデザイン等は、改良の為予告なく変更されることがありますのでご了承下さい。