メタルプラズマコーターＡＴ-ＥＴ、ＡＴ-ＥＴa

ロータリーポンプを内蔵し卓上化により小スペース化を実現。
簡単操作で、排気からコーティング完了まで自動。
デジタル表示の真空度、低価格。

ターボマルチコーターAT-901

高倍率観察に必要なＣｒ（粉状性）のスパッタが可能。
特殊シャッター機能により試料の熱損傷を抑制。
排気ポンプによる内外へのオイル汚染無し。

ギンブルマルチコーターＡＴ-９０３

全方位揺動（ギンブルモーション）ステージにより回り込みが良いコーティングが可能。
完全ドライ排気により試料の汚染防止（ターボ分子ポンプ＋ダイヤフラムポンプ）

カーボンコーティングアタッチメントＡＴ－ＣＡ

シャープペンシル型カーボン芯を用いる事により、交換が容易・先端加工不要。
特殊シャッター機能により試料の熱損傷抑制。