特徴

ロータリーポンプを内蔵し、卓上型にしたことで、小スペース化を実現。
簡単操作で、排気からコーティング完了まで自動で対応。
真空度が分かりやすいよう、デジタル表示を採用。
低価格。

ターゲット：Au Pt Ag Au-Pd In を揃えてろいます。（φ30　ｔ:0.1㎜　但しＩｎの場合0.5㎜）（別売）
Ｉｎを使用される場合、アルゴンガス対応であるＡＴ-ＥＴaをお勧めいたします

仕様

スパッタリング 方式	DCマグネトロンスパッタリング 放電電圧：DC 1500V max 放電電流：DC 10、20、30、40mAから選択
ターゲット(別売)	φ30、0.1mm厚のAu、Pt、Ag、Au(8)-Pd(2)及びφ30、0.5mm厚のInが使用可能
使用ガス	Air、Ar（ArはAT-ETAのみ）
到達真空圧	8Pa以下
チャンバー内寸	φ87mm
試料ホルダー	φ70mm
真空排気	ロータリーポンプ(10L/min)※内蔵
寸法	本体 250W × 370D × 325H
重量	本体 約15kg
電源	AC 100V 3A

コーティング例

◆凹凸のある試料(ろ紙表面)の撮像例(SEM画像)

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