高速回転（7000rpm）でのスピンコーターでしかも2レーン式。
塗布工程からベーキング工程を自動で行う、カセットtoカセット枚葉式装置。
ローダー/アンローダーに最大3カセット搭載可能で、ウェハーマッピング機能を搭載。

装置寸法：(W)3000mm × (D)1350mm × (H)1800mm
装置重量：約1200Kg